建國科技大學 進修部 109 學年度第 1 學期 課程綱要表
授課班級: 進 四技電子三甲        教師: 許重傑
科目名稱: 半導體概論        時數: 3
教材名稱: 半導體製程技術導論(第三版)        著 者: 原著Hong Xiao; 譯者 陳啟文、許重傑、蔡有仁 等
出版書局: 全華圖書
主要參考資料:(請註明書名、著者、出版書局)
1.半導體物理及元件 楊賜麟 編譯 滄海圖書
2.VLSI製造技術 莊達人 著 高立圖書
3.半導體工程一先進製程與模擬 羅正忠﹒李嘉平﹒鄭湘原 譯 高立圖書有限公司

 

評分方式: 出席狀況;考試與作業;期中考;期末考
評分比例: 20%;20%;30%;30%

先修科目或先備能力: 化學、電子學、半導體元件物裡

教學目標:
1.知識: 培養學生正確半導體元件物理與工程技術之知識
2.技能: 訓練學生演算的技巧
3.態度: 輕鬆的學習方式
4.其他: 培養學生半導體元件工程技術應用之能力

教學方式: 課堂講授;其他;

教材大網:

單    元    主    題 內    容    綱    要 教學週數 備    註
課程概論


VLSI簡介
性別平等與性騷擾與性侵害防治教育觀念宣導
工程倫理
第01章 導論
1 powerpoint教學
基礎理論 第02章 積體電路製程簡介
第03章 半導體的基礎
第04章 晶圓製造
3 powerpoint教學
單元製程 第05章 加熱製程
第06章 微影製程
第07章 電漿製程
第08章 離子佈植製程
第09章 蝕刻製程
第10章 化學氣相沉積與介電質薄膜
11 powerpoint教學
Silvaco Athena模擬示範教學
製程整合 第13章 半導體製程整合 1 powerpoint教學
Silvaco Athena模擬示範教學
       
       
       
請遵守智慧財產權,勿非法影印教科書。
 



建國科技大學 進修部 109 學年度第 1 學期 教學預定進度表

科       目: 半導體概論       授 課 班 級: 進 四技電子三甲
任 課 教 師: 許重傑 擬定進度教師: 許重傑
教科書 名稱: 半導體製程技術導論(第三版) 作       者: 原著Hong Xiao; 譯者 陳啟文、許重傑、蔡有仁 等
出 版 書 局: 全華圖書
週次
月日
時數
網路
時數
授   課   內   容   要   項 備  註
1
9月14日
9月20日
3 3 第05章 加熱製程(前半段) (14)開學暨正式上課(15-24)網路分梯次加退選(16)二技美容開學暨正式上課(19)六日班開學暨正式上課
2
9月21日
9月27日
3 3 第05章 加熱製程(後半段) (22-24)跨日間部網路加退選(26)補班補課(10/2日彈性放假)
3
9月28日
10月4日
3 0 性別平等與性騷擾與性侵害防治教育觀念宣導
工程倫理
課程簡介、第01章 導論
(1)中秋節(放假)(2)彈性放假9/26(六)補班補課(3-4)有排課班級正常上課
★調課至8/20
4
10月5日
10月11日
3 0 第06章 微影製程(前半段) (10)雙十節(放假)適逢星期六(9)補假(11)有排課班級正常上課
5
10月12日
10月18日
3 0 第02章 積體電路製程簡介 ★調課至8/28
6
10月19日
10月25日
3 3 第06章 微影製程(後半段)  
7
10月26日
11月1日
3 3 期中考  
8
11月2日
11月8日
3 0 第07章 電漿製程  
9
11月9日
11月15日
3 0 第08章 離子佈植製程(前半段) 期中考試週
10
11月16日
11月22日
3 0 第03章 半導體基礎 ★調課至9/1
(19)校慶預演(20)校慶運動會
11
11月23日
11月29日
3 0 第08章 離子佈植製程(後半段)  
12
11月30日
12月6日
3 0 第09章 蝕刻製程(前半段)  
13
12月7日
12月13日
3 3 第09章 蝕刻製程(後半段)  
14
12月14日
12月20日
3 3 第10章 化學氣相沉積與介電質薄膜(前半段)  
15
12月21日
12月27日
3 3 第10章 化學氣相沉積與介電質薄膜(後半段)  
16
12月28日
1月3日
3 0 第04章 晶圓製造 ★調課至9/13
(1)開國紀念日(放假);(2-3)有排課班級正常上課。
17
1月4日
1月10日
3 0 第13章 半導體製程整合  
18
1月11日
1月17日
3 3 期末考 期末考試週;(24)成績上網輸入截止(25)送交學期成績冊截止
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