建國科技大學--教學大綱及進度表

建國科技大學進修部 99 學年度第 2 學期課程綱要表

授課班級：產學攜手四技電機三A	教師：黃勝斌
科目名稱：半導體製程與設備導論	時數： 3
教材名稱：矽元件與積體電路製著者：李明逵出版書局：全華圖書
主要參考資料：(請註明書名、著者、出版書局) 1. VLSI 製造技術, 莊達人, 高立 2. VLSI Technology, S.M. SZE, 新月圖書	評分方式：
	評分比例：
先修科目或先備能力：
教學目標： 1.知識：對半導體技術領域，積體電路晶片製造過程有更深入的了解 2.技能：探討半導體工廠複雜的製程設備及技術 3.態度： IC專業技能來自良好的理論與實作，與團隊合作 4.其他：誘發學生IC專業選擇發展的潛能與興趣
教學方式：

教材大網：

單元主題	內容綱要	教學週數
開學, 導論, 半導體產業回顧與發展	工程倫理與責任，課程之服務與學習，衛生安全教育，創意與創新概念，智慧財產權觀念建立。產業結構及資訊, 積體電路的生產簡介	1
半導體的基礎加熱製程	半導體材料與基本原理的介紹熱氧化、回火處理、爐管	3
微影技術	黃光室設備的介紹, 解析度、縱深比的定義及重要性	2
電漿的基本原理及離子佈植	電漿產生的機製及製程運用, 離子佈植的原理與應用, 如能量、深度、劑量的控制	2
蝕刻	比較乾式/濕式蝕刻的原理與應用, 了解解析度、選擇性的定義與重要性	2
化學氣相沉積與介電質薄膜	CVD原理及其在薄膜沉積的應用	2
積體電路, 製程整合	半導體元件, 製程、鍍層控制,MOSFET元件製作, 電路與佈局	4

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建國科技大學進修部 99 學年度第 2 學期教學預定進度表

科       目：半導體製程與設備導論       授課班級：產學攜手四技電機三A

任課教師：黃勝斌擬定進度教師: 黃勝斌

教科書名稱：矽元件與積體電路製作       者：李明逵

出版書局：全華圖書

週次

月日

時數

網路
時數
授   課   內   容   要   項備註

1
2月21日
2月27日 3 0 工程倫理與責任，課程之服務與學習，衛生安全教育，創意與創新概念，智慧財產權觀念建立。
產業結構及資訊, 積體電路的生產簡介 02/21開學【第一節導師時間，第二節正式上課】

2
2月28日
3月6日 3 0 半導體材料與基本原理的介紹 2/28放假;3/1~7進修網路加退選

3
3月7日
3月13日 3 0 半導體材料與基本原理的介紹 3/8~10跨日間、進修學院網路加退選

4
3月14日
3月20日 3 0 熱氧化、回火處理、爐管　

5
3月21日
3月27日 3 0 黃光室設備的介紹, 解析度、縱深比的定義及重要性　

6
3月28日
4月3日 3 0 黃光室設備的介紹, 解析度、縱深比的定義及重要性　

7
4月4日
4月10日 3 0 電漿產生的機製及製程運用 4/4兒童節放假;4/5清明節放假

8
4月11日
4月17日 3 0 離子佈植的原理與應用, 如能量、深度、劑量的控制　

9
4月18日
4月24日 3 0 期中考試期中考試週

10
4月25日
5月1日 3 0 比較乾式/濕式蝕刻的原理與應用, 了解解析度、選擇性的定義與重要性　

11
5月2日
5月8日 3 0 比較乾式/濕式蝕刻的原理與應用, 了解解析度、選擇性的定義與重要性　

12
5月9日
5月15日 3 0 CVD原理及其在薄膜沉積的應用　

13
5月16日
5月22日 3 0 CVD原理及其在薄膜沉積的應用　

14
5月23日
5月29日 3 0 半導體元件, 製程畢業班期末考試週;5/28校慶

15
5月30日
6月5日 3 0 半導體元件, 製程　

16
6月6日
6月12日 3 0 鍍層控制,MOSFET元件製作, 電路與佈局 6/6端午節放假;6/11畢業典禮

17
6月13日
6月19日 3 0 鍍層控制,MOSFET元件製作, 電路與佈局　

18
6月20日
6月26日 3 0 　期末考試週

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