建國科技大學 日間部 98 學年度第 1 學期 課程綱要表
授課班級： 日 四技機械四A        教師： 黃振國
科目名稱： 半導體製造及設備        時數： 3
教材名稱： 半導體製程技術導論(修訂版)        著 者： 蕭宏原著 羅正忠、張鼎張 譯
出版書局： 歐亞書局
主要參考資料：(請註明書名、著者、出版書局)

 

 評分方式：
評分比例：

先修科目或先備能力：

教學目標：
1.知識： 對半導體技術領域，積體電路晶片製造過程有更深入的了解
2.技能： 探討半導體工廠複雜的製程設備及技術
3.態度： IC專業技能來自良好的理論與實作，與團隊合作
4.其他： 誘發學生IC專業選擇發展的潛能與興趣
教學方式：

教材大網：

單    元    主    題 內    容    綱    要 教學週數 備    註
半導體產業回顧與發展 半導体在台灣 2 　
製程技術導論(一) 加熱製程、微影技術 3 　
製程技術導論(二) 電漿的基本原理、離子佈植
蝕刻、化學氣相沉積與介電質薄膜		 3 　
製程技術導論(三) 金屬化製程化學機械研磨 3 　
製程技術導論(四) 製程整合 3 　
專題報告 小組討論、作業報告 2 　
　 　 　 　
請遵守智慧財產權，勿非法影印教科書。
 



建國科技大學 日間部 98 學年度第 1 學期 教學預定進度表
科       目： 半導體製造及設備       授 課 班 級： 日 四技機械四A
任 課 教 師： 黃振國 擬定進度教師: 黃振國
教科書 名稱： 半導體製程技術導論(修訂版) 作       者： 蕭宏原著 羅正忠、張鼎張 譯
出 版 書 局： 歐亞書局
週次
月日
時數
網路
時數
 授   課   內   容   要   項 備  註
1
 9月14日
9月20日		 3 0 半導體產業回顧與發展 　
2
 9月21日
9月27日		 3 0 半導體產業回顧與發展 　
3
 9月28日
10月4日		 3 0 加熱製程 　
4
 10月5日
10月11日		 3 0 微影技術 　
5
 10月12日
10月18日		 3 0 微影技術 　
6
 10月19日
10月25日		 3 0 電漿的基本原理 　
7
 10月26日
11月1日		 3 0 離子佈植 　
8
 11月2日
11月8日		 3 0 離子佈植 　
9
 11月9日
11月15日		 3 0 筆試 期中考週
10
 11月16日
11月22日		 3 0 蝕刻 　
11
 11月23日
11月29日		 3 0 蝕刻 英文能力測驗
12
 11月30日
12月6日		 3 0 金屬化製程 　
13
 12月7日
12月13日		 3 0 金屬化製程 　
14
 12月14日
12月20日		 3 0 化學氣相沉積與介電質薄膜 　
15
 12月21日
12月27日		 3 0 化學氣相沉積與介電質薄膜 　
16
 12月28日
1月3日		 3 0 化學機械研磨 元旦放假
17
 1月4日
1月10日		 3 0 製程整合 　
18
 1月11日
1月17日		 3 0 學期報告 期末考週
請遵守智慧財產權，勿非法影印教科書。