建國科技大學 進修部 95 學年度第 2 學期 課程綱要表
授課班級： 進二技機械二A        教師： 梁元彰
科目名稱： 半導體製造及設備        時數： 3
教材名稱： 半導體製造技術        著 者： M.Quirk &J.Serda
出版書局： 滄海書局
主要參考資料：(請註明書名、著者、出版書局)

 

 評分方式：
評分比例：

先修科目或先備能力： 基本物理與化學知識

教學目標：
1.知識： 培養學生半導體製造基本觀念
2.技能： 訓練學生設計相關元件製造能力
3.態度： 嚴謹的課程學習方式
4.其他： 實例搭配課程教學
教學方式：

教材大網：

單    元    主    題 內    容    綱    要 教學週數 備    註
IC製造概論 1. 導言
2. IC製造流程		 1 　
氧化 1. 熱氧化生長
2. 爐管設備
3. 氧化製程
4. 品質量測		 3 　
沉積 1. PVD
2. CVD
3. EPI 工程		 3 　
金屬化 1. 金屬的形式
2. 金屬沉積系統
3. 金屬化摘要		 3 　
微影
蝕刻		 1. 氣相塗底與軟烤
2. 對準與曝光
3. 顯影與先進雕像
4. 乾與濕式蝕刻
5. 蝕刻檢查與除錯		 3 　
離子植入 1.離子植入機
2.在積體化製程之趨勢		 3 　
化學機械平坦化 1.CMP的應用
2.CMP的品質量測		 2 　
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建國科技大學 進修部 95 學年度第 2 學期 教學預定進度表
科       目： 半導體製造及設備       授 課 班 級： 進二技機械二A
任 課 教 師： 梁元彰 擬定進度教師: 梁元彰
教科書 名稱： 半導體製造技術 作       者： M.Quirk &J.Serda
出 版 書 局： 滄海書局
週次
月日
時數
網路
時數
 授   課   內   容   要   項 備  註
1
 2月26日
3月4日		 3 0 簡介 　
2
 3月5日
3月11日		 3 0 氧化(I) 　
3
 3月12日
3月18日		 3 0 氧化(II) 含小考
4
 3月19日
3月25日		 3 0 沈積(I) 　
5
 3月26日
4月1日		 3 0 沈積(II) 含小考
6
 4月2日
4月8日		 3 0 沈積(III)&金屬化(I) 　
7
 4月9日
4月15日		 3 0 金屬化(II) 　
8
 4月16日
4月22日		 3 0 期中考 期中考
9
 4月23日
4月29日		 3 0 微影蝕刻(I) 　
10
 4月30日
5月6日		 3 0 微影蝕刻(II)&離子植入(I) 含小考
11
 5月7日
5月13日		 3 0 離子植入(II) 　
12
 5月14日
5月20日		 3 0 CMP(I) 含小考
13
 5月21日
5月27日		 3 0 CMP(II) 含課程總複習
14
 5月28日
6月3日		 3 0 畢業班期末考 畢業班期末考
15
 6月4日
6月10日		 3 0 　 　
16
 6月11日
6月17日		 3 0 　 　
17
 6月18日
6月24日		 3 0 　 　
18
 6月25日
7月1日		 3 0 　 　
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